Weltführender Gas-Lieferant, Ein-Stations-Lösung in China.
Qualität und Service sind unsere Kultur, zuverlässig und vertrauenswürdig.
Herkunftsort: | China |
Markenname: | TYHJ |
Zertifizierung: | ISO Certificate |
Modellnummer: | NF3 |
Min Bestellmenge: | 10pcs |
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Preis: | negotiable |
Verpackung Informationen: | 1. Zylinder 44Ltr, der mit Flüssigkeit 20Kg NF3 füllt. 2. Zylinder 440L, der mit Flüssigkeit 200Kg |
Lieferzeit: | 15-30 Werktage nach Eingang der Ablagerung |
Zahlungsbedingungen: | L/C, T/T, D/A, D/P, Western Union |
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | 10000KG pro Monat |
CAS Nr.: | 7783-54-2 | EINECS-Nr: | 232-007-1 |
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UNO nein.: | UN2451 | Reinheit: | 99,995% |
Punkt-Klasse: | 2,2 | Aussehen: | FARBLOS |
Markieren: | advanced specialty gases,purity plus specialty gases |
Stickstoff Trifluorid NF3 Gas, Spezialgase zum Plasmaätzen von Siliziumscheiben farblos
Stickstofftrifluorid ist die anorganische Verbindung mit der Formel NF & sub3 ;. Diese Stickstoff-Fluor-Verbindung ist ein farbloses, geruchloses, nicht brennbares Gas. Es findet zunehmend Verwendung als Ätzmittel in der Mikroelektronik. Stickstofftrifluorid ist ein extrem starkes Treibhausgas.
Spezifikationen
CAS-Nr .: 7783-54-2
EINECS Nr .: 232-007-1
UN-Nr .: UN2451
Reinheit: 99.995%
Punktklasse: 2.2
Aussehen: Farblos
Grad Standard: Elektron Grade
Spezifikation | ≥99.995% |
CF4 | ≤40 ppm |
N2 | ≤ 5 ppm |
O2 + Ar | ≤ 5 ppm |
CO | ≤ 5 ppm |
CO2 | / |
N2O | / |
SF6 | ≤2 ppm |
H2O | ≤ 1 ppm |
HF | ≤ 1 ppm |
Typische Anwendung
Radierung:
Stickstofftrifluorid wird beim Plasmaätzen von Siliziumwafern verwendet.
Verpackung und Versand
Packungsgrösse | 44L Zylinder | 440L Zylinder | ISO-Tank |
Nettofüllgewicht / Zyl | 20 kg | 200 kg | / |
Menge geladen in 20'Container | 200 Zyl | 20 Zyl | |
Gesamtnettogewicht | 4 Tonnen | 4 Tonnen | |
Zylinder Taragewicht | 50 kg | 240 kg | |
Ventil | CGA / DISS640 |
Ansprechpartner: Millet