CASs 10294-35-1 Gas des Bor-Trichlorid-BCL3 für Halbleiter-Herstellungs-Plasma-Radierung

CAS 10294-35-1 Boron Trichloride BCL3 Gas For Semiconductor Manufacturing Plasma Etching

Produktdetails:

Herkunftsort:	China
Markenname:	TYHJ
Zertifizierung:	ISO Certificate
Modellnummer:	elektronisches Gas BCL3

Zahlung und Versand AGB:

Min Bestellmenge:	10pcs
Preis:	negotiable
Verpackung Informationen:	1. Zylinder 40Ltr, der mit 25Kg BCL3 füllt. 2. Zylinder 47L, der mit 50Kg BCL3 füllt.
Lieferzeit:	15-30 Werktage nach Eingang der Ablagerung
Zahlungsbedingungen:	T/T, L/C, D/A, D/P, Western Union
Versorgungsmaterial-Fähigkeit:	10000KG pro Monat

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Ausführliche Produkt-Beschreibung

CAS Nr.:	10294-35-1	EINECS-Nr:	233-658-4
UNO nein.:	UN1741	Reinheit:	99,999%
Punkt-Klasse:	2,3	Aussehen:	Farbloses, ätzendes, verflüssigtes Gas
Markieren:	electric gas , electronics gas

Elektronisches Grad-Bor-Trichlorid BCL3 benutzt in der Halbleiter-Herstellungs-Plasma-Radierung

Spezifikationen

CAS Nr.: 10294-35-1

EINECS Nr.: 233-658-4

UNO Nr.: UN1741

Reinheit: 99,999%

Punkt-Klasse: 2,3

Auftritt: Farbloses, ätzendes, verflüssigtes Gas

Grad-Standard: Elektronischer Grad

Spezifikation	99,999%
CO2	<2 PPMs
Co	<0.5 PPMs
Chlor	<1 PPMs
Stickstoff	<4 PPMs
Sauerstoff	<1 PPMs
THC	<0.5 PPMs

Typische Anwendung

Ätzung:

BCl3 wird auch in der Plasmaradierung in der Halbleiterherstellung verwendet. Dieses Gas ätzt Metalloxide durch Bildung von ein flüchtigen BOClx-Mitteln.

BCL3 BCL3

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Paket-Größe	Zylinder 40Ltr	Zylinder 47Ltr	ISO-BEHÄLTER
Füllender Inhalt/CYL	25Kgs	50Kgs	/
Menge geladen in 20' Behälter	240 Cyls	200 Cyls
Gesamtvolumen	6Tons	10Tons
Zylinder-Leergewicht	50Kgs	55Kgs
Ventil	DISS-634/CGA 660